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【技術資料】激光調阻技術(激光微調、激光調值)

日期:2016-07-04 來源:鼎城鋅鋼
      20世紀60年代初激光器問世一來,經過20多年的發展,現已成為一種非常成熟的技術,廣泛用于混合電路制造業。國內外不少混合電路廠家都采用激光調阻工藝。與其他調阻技術相比,激光調阻的精度高,效率高。

      現代激光技術是制造高性能混合電路的重要手段。現代激光調阻技術不僅能對厚膜基片進行調阻,而且能對組裝后的混合集成電路進行微調,保證電路的功能。隨著混合電路向高性能、高可靠和高密度發展,激光調阻技術在混合電路制造中的作用日益突出。

      激光調阻機是一種精密的激光微調設備,它通過短脈沖激光掃描切割,改變電阻體的導電截面積,達到把低于目標阻值的電阻體修調到阻值允許的偏差范圍內,適用于 片狀電阻的快速大規模生產。它的主要構成為:一臺輸出脈沖頻率可調的調Q脈沖Nd:YAG激光器,輸出波長為1.06μm激光,經兩軸偏轉后,由光學系統 匯聚成25μm直徑的光斑,照射到載臺上的片式電阻基片上。基片電阻漿料層受激光加熱氣化,形成一定深度的刻痕,從而改變了電阻體的導電截面積和導電長 度。高速高精度在線電阻測量系統,測量電阻器的阻值,當阻值達到標稱值時,由電控開關關斷激光,完成此片式電阻的修整過程,全過程用時5-20ms。由一 臺X-Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調。然后,運動控制系統驅動載片臺向前運動一個行距的位置,重復上述過程完成第二行調阻,依此類推,直至調完 一片。所有上述工作在一臺計算機統一控制下,協調高效地進行。

      激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調、光掩膜的修正、具有分布參數的超高頻電路的微調、光學度盤和分劃板的刻制等工業領域將得到越來越廣泛的應用。
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